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在線橢偏儀儀器介紹：
在鍍膜或刻蝕的過程中，實時監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)（n,k）變化。

在線橢偏儀技術(shù)參數(shù)：
·可實現(xiàn)快速、實時在線監(jiān)測樣品膜層變化

在線橢偏儀儀器介紹：
在鍍膜或刻蝕的過程中，實時監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)（n,k）變化。

在線橢偏儀技術(shù)參數(shù)：
·可實現(xiàn)快速、實時在線監(jiān)測樣品膜層變化

在線橢偏儀主要特點：
將激發(fā)和探測頭引入生產(chǎn)設(shè)備，可實現(xiàn):
· 動態(tài)模式:實時監(jiān)測膜厚變化
· 光譜模式：監(jiān)測薄膜的界面和組分

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