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日本新宇宙 半導體材料氣體 XPS-7型
半導體材料氣體XPS-7型
特點： 型 號 XPS-7 檢測原理 定電位電解式 檢測氣體對象 半導體材料氣體 測量范圍 根據規格 分 解 能 全量程的百分之一表示 指示精度 FS±10%以內 報警模式 2段報警方式 報警方式 蜂鳴器（斷續音）、報警燈閃爍 應答時間 60秒以內（60%應答） 電 源 5號堿性干電池4節或AC變壓器 電池使用時間 連續12小時以上（使用堿性干電池無報警、20℃時） 外型尺寸 W62×H150×D128mm（突出部分除外） 檢測方式 泵吸引式 使用溫度范圍 0℃～40℃ 重 量 約1.3kg 附 件 肩背皮帶、5號堿性干電池4節、過濾紙2張 選 購 件 AC變壓器、傳感器通電臺、數據收集配套元件 型號 氣體 F.S 型號 氣體 F.S 型號 氣體 F.S XDS-7NH NH3 100ppm XDS-7GH GeH4 1ppm XDS-7HS H2S 50ppm XDS-7SH SiH4 25ppm XDS-7CL CL2 5ppm XDS-7CO CO 250ppm XDS-7DC SiH2CL2 25ppm XDS-7CF CLF3 1ppm XDS-7DS Si2H6 25ppm XDS-7AH AsH3 250ppb XDS-7HC HCL 25ppm XDS-7F2 F2 5ppm XDS-7PH PH3 1ppm XDS-7HF HF 10ppm XDS-7OZ O3 1ppm XDS-7BH B2H6 500ppb XDS-7HB HBr 10ppm XDS-7SE H2Se 250ppb XDS-7NO NO 100ppm
只要更換傳感器單元就可以檢測各種對象氣體。
用盒式傳感器單元無需進行氣體檢測器校正。
可以大幅度削減成本和維護時間。
檢測氣體一覽表：
對象氣體一覽表